中國工業報  左宗鑫

　　在半導體芯片生產領域中，僅次于硅片耗材的電子特種氣體成為決定芯片成品率的關鍵，特種氣體廣泛應用在工業生產過程中的工業氣體，包括薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積等方面，對電子產品的生產起到關鍵的作用，是名副其實的“電子工業的血液”。

　　四巨頭壟斷 占據我國市場份額近九成

　　自21世紀以來，跨國氣體公司加速對行業進行整合。2004年，法液空花費大約27億歐元收購了歐洲第四大氣體供應商梅塞爾的大部分資產；2006年，德國林德以140億美元的價格收購了老牌氣體公司，歐洲第五大氣體供應商英國氧氣公司；2016年，法液空斥資134億美元收購美國氣體公司Airgas；2018年底，兩家世界前五的氣體公司德國林德和美國普萊克斯完成了價值900億美元的對等合并，世界氣體行業四大巨頭最終成型。截止到2018年，美國空氣化工、法液空、新林德、日本大陽日酸四家公司總計占據了世界電子特氣市場份額的94%。

　　同時，全球工業氣體市場近年來呈現穩步增長的態勢，2018年全球工業氣體市場規模約為1220億美元，我國工業氣體市場規模為1350億元，2010-2018年年均復合増長率達到16.05%。與發達國家相比，我國人均工業氣體消費量還處在較低水平，根據2018年的人均工業氣體消費量統計，我國的人均工業氣體消費只有美國的1/26，不足西歐與澳洲的1/20，與南美和東歐國家也有較大差距。

　　由于我國電子特氣行業起步較晚，過去國內的氣體公司與國外巨頭相比一直存在10年左右的技術代差，中國的電子特氣市場同樣被幾家大型跨國氣體公司所壟斷。

　　根據卓創資訊統計，截止到2018年，美國空氣化工、新林德、法液空、日本大陽日酸總計占據我國電子特氣市場份額的88%；國內的氣體公司，比如華特氣體、金宏氣體等占比都沒有超過3%。對此，早在2011年就有學者評論，電子特氣作為半導體產業的上游關鍵原材料，供應卻受制于人，"一條產業鏈，半截在國外"。

　　政策扶持 電子特氣國產化提速

　　要做大做強我國的半導體產業，打破國外氣體公司在華的壟斷局面勢在必行。

　　近10年，國內電子氣體不斷實現高端品種的技術突破，與國外的技術代差逐漸縮小，外資氣體公司在華的壟斷格局松動，國產氣越來越多地進入下游大客戶的供應鏈。2018年以來，持續升溫的中美貿易戰以及美國對我國半導體產業的“卡脖子"手段，激發了國內政府和產業的高度關注，國內電子特氣行業獲得了前所未有的發展機遇，研發、產業化生產和融資都將進一步提速。

　　2017年1月，工信部等四部委首次提出“加快高純特種電子氣體研發及產業化，解決極大規模集 成電路材料制約”；2019年12月，工信部發布的《重點新材料首批次應用示范指導目錄（2019版）》中指出，將用于集成電路和新型顯示的電子氣體的特種氣體：高純氯氣、三氯氫硅、氯化氫、氧化亞氮等列為重點新材料。

　　此外，國家大基金（二期）于2019年7月募集完成，將加大對國產設備和材料領域的投入。2019年9月，國家大基金二期在半導體集成電路零部件峰會上透露了未來大基金的投資布局及規劃的三大方向，其中包括充分發揮基金在全產業鏈布局的優勢，持續推進裝備與集成電路制造、封測企業的協同，加強基金所投企業間的上下游結合，加速裝備從驗證到“批量采購”的過程，為本土裝備材料企業爭取更多的市場機會。督促制造企業提高國產裝備驗證及采購比例，為更多國產設備材料提供工藝驗證條件，擴大采購規模。

　　中國氣體勢力崛起 壟斷格局開始松動

　　相比于全球，中國的半導體和電子特氣產業表現出更高的增長速度，也孕育著更大的機遇。據SEMI統計，2018年中國大陸的半導體材料銷售額達到84.4億美元，自2006年以來的年化復合增速為11.11%，超過全球半導體材料行業增速的2倍。2006-2018年間，中國大陸的半導體材料市場的規模已經從占全球的6.40%提升到了16.25%，是僅次于中國臺灣、韓國的第三大市場。

　　受益于我國半導體產業的高速發展，我國電子特氣行業的市場規模也在迅速擴大。據統計，2010-2017年中國特種氣體市場平均增速達15.48%，2017年中國的特種氣體市場規模約178億元，其中集成電路、顯示面板、光伏能源、光纖光纜等半導體領域的特種氣體市場規模約100億元。同時，卓創資訊預計，2018-2022年中國特種氣體市場規模仍將以平均超過15%的年增長率高速增長，到2022年中國特種氣體市場規模將達到410億元，特種氣體將為中國新興產業的發展注入新動力。

　　經過國家科研院所和龍頭企業數十年的苦心研發，華特氣體、金宏氣體等國產特氣公司終于率先突破了外資巨頭的技術壟斷，主力產品達到甚至超過國際領先水平，并實現了對下游集成電路、面板、光伏廠商的常態供應。外國氣體公司在華的壟斷局面已經松動，特氣市場將迎來越來越多的中國“芯”勢力。

　　盡管國產特氣公司已經完成了從 0到 1的突破，但不可忽視的是，在特氣體系的多樣性、完整性，以及綜合服務能力等方面，我們與跨國氣體公司仍然存在相當的差距，從 1到 10的路可能會更難走。國產特氣公司必須持之以恒地大力投入氣體研發與產能建設，主動挖掘客戶需求，緊跟產業前沿，并且不斷迭代技術，降本增效；還必須加強科研型、服務型人才隊伍的建設，提升綜合服務能力；以及借助資本的力量，對當前尚處于起步階段的中國特氣行業進行整合，方能實現對氣體巨頭的彎道超車。