6月29日,科創(chuàng)板上市委員會審議會議結(jié)果公告,中巨芯科技股份有限公司(以下簡稱“中巨芯”或公司)首發(fā)申請獲通過,保薦機(jī)構(gòu)和主承銷商為海通證券。公司本次發(fā)行股票數(shù)量36931.90萬股,擬募集資金總額150,000.00萬元。

　　中巨芯主要從事電子濕化學(xué)品、電子特種氣體和前驅(qū)體材料的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于集成電路、顯示面板以及光伏等領(lǐng)域的清洗、刻蝕、成膜等制造工藝環(huán)節(jié),市場規(guī)模持續(xù)高速發(fā)展,已成為行業(yè)發(fā)展不可或缺的關(guān)鍵性電子化學(xué)材料供應(yīng)商

　　公司專注于電子化學(xué)材料領(lǐng)域,劍指高端,通過自主創(chuàng)新,引領(lǐng)市場需求,取得了多項(xiàng)技術(shù)和工藝的突破;在電子濕化學(xué)品方面,公司電子級氫氟酸已達(dá)到G5級純度,覆蓋55nm及以下制程12英寸晶圓制造;電子級硫酸已達(dá)到G5級純度,覆蓋28nm及以下制程12英寸晶圓制造;電子級硝酸已達(dá)到G5級純度,覆蓋14nm制程12英寸晶圓制造;電子級鹽酸已達(dá)到G4級純度,覆蓋12英寸晶圓制造;其中,G4級純度的緩沖氧化物刻蝕液的已獲得廠商認(rèn)證并量產(chǎn),覆蓋8英寸及12英寸集成電路制造領(lǐng)域。在電子特種氣體和前驅(qū)體材料方面,公司6N純度高純氯氣已獲得廠商認(rèn)證并量產(chǎn),覆蓋28nm及以下制程12英寸晶圓制造;6N純度高純氯化氫已獲得外延反應(yīng)腔體清洗氣體及用作外延工藝反應(yīng)氣體的認(rèn)證量產(chǎn);另外,公司的氟碳類氣體、前驅(qū)體材料如HCDS、BDEAS、TDMAT等,已獲得廠商認(rèn)證測試,開始批量出貨。

　　作為電子化學(xué)品的國產(chǎn)替代主力軍,近年來,中巨芯瞄準(zhǔn)高端,緊抓市場需求熱點(diǎn),積極儲備人才技術(shù),依托“先進(jìn)電子化學(xué)材料浙江省工程研究中心”開展研發(fā)活動,不斷豐富產(chǎn)品品類和工藝持續(xù)改進(jìn)。子公司“浙江凱圣氟化學(xué)”和“博瑞電子”以及募投項(xiàng)目“中巨芯潛江年產(chǎn)19.6萬噸超純電子化學(xué)品項(xiàng)目”等技術(shù)儲備已躋身國際先進(jìn)水平,為同行業(yè)第一梯隊(duì)水平,產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)可以覆蓋目前先進(jìn)集成電路和面板等技術(shù)節(jié)點(diǎn)的要求。據(jù)悉,公司高純系列主流產(chǎn)品,已達(dá)到了最高純度SEMI G5等級和高純度的SEMI G4等級,部分產(chǎn)品達(dá)到了純度超過99.9995%的6N等級甚至高純度7N等級,成為全球范圍內(nèi)同時掌握SEMI G5等級和6-7N純度技術(shù)工藝產(chǎn)品的少數(shù)領(lǐng)軍之一,部分產(chǎn)品已打破國外技術(shù)壟斷,填補(bǔ)國內(nèi)技術(shù)空白,并通過多家行業(yè)頭部制造企業(yè)的認(rèn)證、測試。

　　公司承擔(dān)國家科技部“集成電路12英寸晶圓制造用超高純氫氟酸”項(xiàng)目;“微納電子制造用超高純電子氣體”項(xiàng)目;“腐蝕性電子氣體品質(zhì)提升及市場應(yīng)用”項(xiàng)目、浙江省科技廳“超純氨水關(guān)鍵技術(shù)開發(fā)”項(xiàng)目;“集成電路制造用前驅(qū)體材料研發(fā)”項(xiàng)目、衢州市科技局“集成電路先進(jìn)制程用電子級氫氟酸關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目;“集成電路先進(jìn)制程用關(guān)鍵蝕刻氣體研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目;“電子級六氟化鎢關(guān)鍵技術(shù)開發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”等科研項(xiàng)目,取得“專精特新”企業(yè)認(rèn)證,積累了大量技術(shù)成果,榮獲多項(xiàng)國家級、省級、市級殊榮。

　　科技創(chuàng)新是中巨芯綜合實(shí)力騰飛的翅膀.截至2021年末,公司累計(jì)獲得47項(xiàng)專利,其中發(fā)明36項(xiàng),實(shí)用新型11項(xiàng);公司高度重視研發(fā)投入,2021年研發(fā)投入4,017.40萬元,三年來研發(fā)投入占營業(yè)收入的比例平均在7%。公司憑借優(yōu)良的產(chǎn)品品質(zhì)和豐富的產(chǎn)品組合,已獲得了SK海力士、臺積電、德州儀器、中芯國際、長江存儲、華虹集團(tuán)、華潤微電子、合肥長鑫、廈門聯(lián)芯、士蘭微、立昂微、上海晶盟、華潤微電子、德州儀器、京東方、華星光電等知名行業(yè)內(nèi)主流客戶的認(rèn)可。

　　公司2018年至2021年?duì)I收分別為5,609.86萬元、33,126.33萬元、、40,018.19萬元、56,579.56萬元,標(biāo)志著以中巨芯為代表的企業(yè),化解先進(jìn)制程的高端產(chǎn)品長期處于“卡脖子”狀態(tài),承接“國產(chǎn)替代”進(jìn)程不斷提速;中巨芯82名研發(fā)人員,508名全體同仁,以青春為名,矢志不渝,始終把技術(shù)工藝聚焦在“成為受人尊重的世界一流電子化學(xué)材料提供者”的企業(yè)愿景,為完善電子材料國產(chǎn)化產(chǎn)業(yè)鏈、提升國家核心競爭力的前行道路上勇當(dāng)先鋒。(林景)