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半導體制造“供血不足” 電子特氣國產化亟待提速

發表時間:2022-07-14 15:28
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中國工業報 悅 

  隨著6月29日中巨芯科技股份有限公司的科創板IPO過會,科創板的“高精尖”半導體相關產業隊伍進一步擴大,電子特種氣體行業也將受到了新一輪關注。電子特氣是中巨芯科技股份有限公司主營業務之一,其中高純氯氣、高純氯化氫已在中芯國際(688981.SH)、華潤微(688396.SH)、士蘭微(600460.SH)等多家企業通過認證并批量供貨。

  作為電子工業重要的原材料之一,電子特氣在半導體行業的地位愈發凸顯,并在晶圓制造過程中占材料成本的14%左右,幾乎滲透到集成電路生產的每個環節,對集成電路的性能、集成度和成品率都有較大影響,被稱為半導體制造的“血液”和“糧食”。但在這一領域,我國還明顯存在“卡脖子”現象,國產化進程亟待提速。

  行業高度集中國際巨頭寡頭壟斷

  在殘酷的高科技爭奪戰中,芯片問題始終是民族工業之痛。設備中的光刻機,芯片材料中的高端光刻膠等核心制造技術,均掌控在國際廠商手中。電子特氣也不例外,其市場格局長期以來被巨頭壟斷。

  從全球電子特氣市場占比來看,由于海外特種氣體市場的發展較早,國際主要工業氣體巨頭形成了深厚的技術積累和產品布局,特氣已成為其收入的重要組成部分。美國空氣化工、法國液化空氣、日本大陽日酸、德國林德集團等海外巨頭占據著全球市場91%的份額,形成了寡頭壟斷的格局。

  因電子特氣產品的重要性,也成為各國攻克的目標。韓國近期宣布實現了高純度氯化氫的國產化,三星電子、白光化學等在電子特氣上的突破,使韓國有望逐步擺脫產業鏈對日本等國家的依賴。事實上,從2019年開始,日本政府就啟動了對韓國三種半導體材料的出口管制。

  國內市場也大致相似,幾大跨國巨頭主導了國內份額的88%,國內廠商僅占據12%。半導體領域電子特氣國產化率不足15%,國產替代需求強烈。從產品種類上看,據中國工業氣體工業協會統計,目前集成電路生產用的電子特氣,我國僅能生產約20%的品種,其余均依賴進口。

  面對多重壁壘突破壟斷難度不小

  工業氣體主要來自煉鋼的副產品,而中國作為鋼鐵大國、工業大國,電子特氣為何會受制于人呢?

  一技術壁壘。經過多年的發展,國內電子氣體產業逐漸攻克技術難點,極大程度緩解了“進口依賴”局面。但是,目前國內的電子氣體相關技術更多還在解決“能用”的問題,部分涉及到“好用”層面的關鍵技術,依然存在“卡脖子”的現象。其中包括大宗氣體提純凈化的生產技術、特種氣體保供的生產技術等,這些則需要技術積累與沉淀才能實現產業鏈“補短板”的最終目標。

  二認證壁壘。電子特氣需要晶圓廠和設備廠商2輪的嚴格審核,而集成電路領域的認證至少需要2年時間,一旦獲得客戶認可,便不會輕易更換供應商。當前,不少芯片巨頭已和氣體供應商建立了長期的合作關系,形成了穩固的上下游產業鏈。

  三市場壁壘。在市場格局被外資把持的背景下,國內氣體企業缺少上機檢測的機會。面對國產品牌的桎梏,氣體企業很難實現從0到1的突破。不過,近年來,長鑫存儲、長江存儲、中芯國際不斷發力,晶圓產能向中國市場傾斜,國內企業擁有了更多的成長機會。

  增長空間廣闊國產替代動力強勁

  自2009年以來,我國電子特氣行業得到國家政策大力支持。

  2017年1月

  工信部等四部委首次提出“加快高純特種電子氣體研發及產業化,解決極大規模集成電路材料制約”。

  2019年12月

  工信部發布的《重點新材料首批次應用示范指導目錄(2019版)》中指出,將用于集成電路和新型顯示的電子氣體的特種氣體——高純氯氣、三氯氫硅、氯化氫、氧化亞氮等列為重點新材料。

  工信部副部長徐曉蘭指出,中國是全球重要的集成電路市場。近年來,在內外資企業的共同努力下,我國集成電路的產業規模不斷壯大,產業技術創新能力大幅增強,2021年全行業銷售額首次突破了萬億元。2018至2021年復合增長率為17%,是同期全球增速的三倍多。

  由于本土電子特氣廠商擴產速度快、人工及原材料成本低,一旦相關技術實現突破,產品競爭力遠勝于海外企業。長遠來看,我國高端電子特氣國產替代勢在必行、增長空間廣闊。據SEMI及江蘇省半導體行業協會測算,至2023年,我國電子特種氣體市場總規模將達到238億元。

  當前,部分電子特氣已經逐漸實現國產化,國內企業進入者增多,大體可分為三類。

  ●第一是以華特氣體、金宏氣體為代表的氣體公司,主營業務以工業氣體為主,該類公司氣體產品種類較多,逐步覆蓋電子氣體部分品種。

  ●第二是以派瑞特氣(中船重工718所)、昊華科技、華宇同方等為代表的專業特氣公司,立足于電子特氣主營業務,經過多年的技術積累,部分品類已形成了獨特的競爭力,發展潛力大。

  ●第三是以雅克科技、南大光電為代表的電子材料平臺型公司,通過并購以及自主研發方式實現了光刻膠、電子特氣等產品的多維布局,兩家公司電子特氣板塊占比分別為16%、72%。

  “過去幾年,在我國半導體產業發展帶動下,國內電子特氣企業迅速興起,已解決了部分電子特氣材料國產化的問題,大大降低了半導體產業的生產成本。”全國人大代表、中國船舶集團有限公司第七一八研究所副所長郭建增表示,為提升我國電子特氣產品國際競爭力,未來還需要強化電子特氣產業鏈上下游企業的合作與協同,支持電子特氣企業與電子元器件、軟件、整機企業加強聯動,通過戰略聯盟、資本合作、技術聯動等方式,實現各環節企業的群體躍升。

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