隨著我國在科學(xué)儀器設(shè)備自主研發(fā)方面的持續(xù)發(fā)力，分析儀器作為科學(xué)儀器的重要部分，正經(jīng)歷著從“跟跑”到“并跑”乃至“領(lǐng)跑”的歷史性轉(zhuǎn)變。這一轉(zhuǎn)變標志著我國分析儀器在技術(shù)創(chuàng)新和自主研發(fā)能力顯著提升，為國產(chǎn)分析儀器的高質(zhì)量發(fā)展奠定了基礎(chǔ)。近期，第九屆中國分析儀器學(xué)術(shù)大會在深圳盛大召開，本次大會以“下一代分析儀器”為主題，匯聚了眾多兩院院士、知名專家學(xué)者、杰出的青年科學(xué)家以及優(yōu)秀企業(yè)代表，共同探討分析儀器的未來趨勢，旨在進一步提升用戶對國產(chǎn)儀器和國產(chǎn)關(guān)鍵部件的信心。

氣相質(zhì)譜儀與液相色譜儀作為科學(xué)儀器重要組成，在鋰電池檢測、電鏡（SEM/TEM）以及食品藥品檢查等領(lǐng)域發(fā)揮著不可替代的作用，在大會專題論壇及關(guān)鍵零部件展覽中，氣相質(zhì)譜儀與液相色譜儀核心零部件創(chuàng)新成為眾人矚目的焦點。會后，為更深入了解這些精密制造核心零部件自主創(chuàng)新背后的故事，國內(nèi)領(lǐng)先的高端精密儀器制造企業(yè)——上海阿為特精密機械股份有限公司董事長兼總經(jīng)理汪彬慧先生接受了記者采訪，他給記者分享了精密技術(shù)創(chuàng)新的獨到見解。

作為國內(nèi)科學(xué)儀器和醫(yī)療器械的核心部件精密制造杰出應(yīng)用專家，汪先生深耕該領(lǐng)域多年，憑借精密制造生產(chǎn)的運營能力、精密制造技術(shù)應(yīng)用的研發(fā)能力以及精密制造頂尖人才的培養(yǎng)能力，屢次帶領(lǐng)團隊獲得技術(shù)應(yīng)用突破，獲得多項發(fā)明專利。不僅成為了全球頂級質(zhì)譜儀制造商長達15年的戰(zhàn)略合作伙伴，更為氣相質(zhì)譜儀與液相色譜儀的發(fā)展作出了重要貢獻。

采訪伊始，汪先生告訴記者，氣相質(zhì)譜儀與液相色譜儀之所以具備高靈敏度和高分辨率的特性，離不開其零部件的精密度和制造質(zhì)量。而核心零部件——真空腔體的制造，則是一項極為復(fù)雜且精細的工作，對材料、工藝、設(shè)備都有著極高的要求。長期以來，這一領(lǐng)域一直被歐美、日本等工業(yè)發(fā)達國家所壟斷，國內(nèi)制造企業(yè)多數(shù)處于非核心產(chǎn)品外包代加工和學(xué)習(xí)階段，缺乏自主創(chuàng)新能力。隨著科學(xué)技術(shù)的快速發(fā)展和需求的不斷增加，這一領(lǐng)域的產(chǎn)能嚴重不足，質(zhì)量標準也日益向精密、高效、緊密、輕量化方向發(fā)展。

面對上述挑戰(zhàn)，憑借掌握的精密制造技術(shù)和質(zhì)量控制能力，汪先生帶領(lǐng)團隊，從精密度、排氣要求、潔凈度要求、裝配條件苛刻以及檢測要求這五個方面進行技術(shù)難點攻克。在精密度方面，汪先生率先引入了先進的數(shù)控機床和精密測量設(shè)備，實現(xiàn)了零部件的微米級加工精度。他深知，精密度是真空腔體性能的關(guān)鍵所在，任何微小的誤差都可能對儀器的性能產(chǎn)生重大影響。因此，他們不斷優(yōu)化加工工藝，提升加工精度，最終實現(xiàn)了5μm級的加工精度，這一精度比現(xiàn)狀10μm級精度顯著提升，在行業(yè)內(nèi)處于領(lǐng)先地位。

排氣能力是真空腔體制造的另一大技術(shù)難題。金屬內(nèi)部存在的間隙和殘渣會殘留氣體，這些氣體在真空環(huán)境下會釋放出來，影響離子在磁場中的運動軌跡，導(dǎo)致影響質(zhì)譜儀的質(zhì)量。為了解決這個問題，汪先生自主研發(fā)了一套獨特的熱處理工藝，以提高金屬的排氣能力。同時，針對不同金屬材質(zhì)研發(fā)了不同的排氣方法，這一技術(shù)的突破提高了真空腔體的真空度，還確保了儀器的穩(wěn)定性和可靠性。

潔凈度是真空腔體制造中不可忽視的一環(huán)。汪先生指出，如果真空腔體表面粘有油脂或污漬，就會污染芯片，影響離子的通過。他帶領(lǐng)團隊建立了1000級的潔凈室，確保在無塵環(huán)境下進行裝配和檢測。在潔凈室內(nèi)，員工需要嚴格遵守規(guī)定，不能化妝、不能吃有異味食物，甚至需要戴口罩進入，以確保室內(nèi)環(huán)境的潔凈度。這一舉措不僅提升了真空腔體的制造質(zhì)量，還為后續(xù)的檢測和裝配工作提供了有力保障。

真空腔體的裝配條件同樣十分苛刻。在汪先生指導(dǎo)下，技術(shù)團隊采用了先進的裝配技術(shù)和設(shè)備，確保裝配的精度和穩(wěn)定性。在裝配過程中，任何細微疏忽都可能削弱腔體性能，因此他們嚴格檢測監(jiān)控每一環(huán)節(jié)，此舉不僅大幅提升了裝配效率，更保障了真空腔體的性能穩(wěn)定可靠。

作為真空腔體質(zhì)量的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，檢測工作同樣不容忽視。汪先生采用了先進的檢測設(shè)備和方法，對真空腔體的各項性能指標進行了嚴格的檢測。在負壓高的情況下，他們甚至需要采用氦質(zhì)譜檢漏儀等高精度設(shè)備來檢測腔體的真空度。這一系列的檢測措施不僅確保了真空腔體的質(zhì)量，還提高了儀器的可靠性和穩(wěn)定性。

通過以上五個技術(shù)難點創(chuàng)新突破，汪先生技術(shù)團隊創(chuàng)新研發(fā)生產(chǎn)的真空腔體達到了行業(yè)領(lǐng)先標準，達到了0^(-9)torr的真空度，獲得全球頂級質(zhì)譜儀制造商的認可。這一創(chuàng)新成果成功打破了國外的技術(shù)封鎖，為國內(nèi)制造企業(yè)在國際市場上贏得了更多的機會和話語權(quán)，還為國內(nèi)質(zhì)譜儀制造業(yè)的發(fā)展樹立了新的標桿。同時，“質(zhì)譜儀結(jié)構(gòu)件”項目也被認定為上海市高新技術(shù)成果轉(zhuǎn)化項目，得到了政府的認可和支持。除了質(zhì)譜儀領(lǐng)域，該真空腔體產(chǎn)品還具有廣泛應(yīng)用前景，其卓越的真空性能和穩(wěn)定性，使其成為眾多高端設(shè)備不可或缺的零配件。目前該零部件已經(jīng)實現(xiàn)了批量生產(chǎn)，并成功獲得了全球眾多頂級設(shè)備制造企業(yè)的訂單，展現(xiàn)出巨大的市場潛力和應(yīng)用價值。

汪彬慧先生創(chuàng)新故事，是精密制造領(lǐng)域的一段傳奇，更是國內(nèi)科技事業(yè)發(fā)展的一個縮影。他對技術(shù)創(chuàng)新的嚴謹和創(chuàng)新的精神讓我們看到了國內(nèi)精密制造的未來希望。更讓我們堅信，在科技創(chuàng)新的引領(lǐng)下，制造行業(yè)必將走向更加輝煌的明天。對于未來，他表示將繼續(xù)帶領(lǐng)團隊深耕精密制造領(lǐng)域，不斷提升產(chǎn)品質(zhì)量和技術(shù)水平。為國內(nèi)制造企業(yè)在國際舞臺上贏得更多的榮譽和機遇，打造出更多屬于自己的世界級科學(xué)儀器品牌，推動國內(nèi)科學(xué)儀器事業(yè)的發(fā)展。（李瓊）